1. 국내 A주 반도체산업체인 대체분야 유일하게 이온주입장치를 보유한 상장기업은 완예엔터프라이즈(주식코드 600641)다. Shanghai Wanye Enterprise Co., Ltd.는 1991년 10월에 설립되었습니다. 신흥 산업 유전자를 보유한 하이테크 상장 기업입니다. 회사는 플랫폼 이점을 활용하고, 국내 및 해외 시장에 의존하고, 국내외 자원을 활용하며, "확장된 인수 합병 + 산업 통합"을 통해 회사의 집적 회로 산업으로의 급속한 전환을 확고히 추진하고 있습니다.

2. 완예엔터프라이즈의 100% 자회사인 케시통은 부동산 개발 및 판매 상장회사로 국내 반도체 분야 IC 이온주입장치의 우량 타깃이자 유일한 상장기업이다. 국내 반도체 IC 교체 분야의 기업입니다. 이온 주입기. 2017년에는 자체 자금 10억 위안을 사용해 상하이 반도체 장비 및 재료 산업 투자 기금에 가입하며 변화의 첫 걸음을 내디뎠습니다. 2018년에는 Shanghai Kestone Semiconductor Co., Ltd.를 성공적으로 인수했습니다. 중국 이온 주입기 연구 개발 및 제조 기업. 광전지 이온주입 분야에서 세계 최대 시장점유율을 보유하고 있으며, 집적회로 이온주입기 개발도 활발히 진행하고 있다. 인수가 완료된 후 회사는 집적회로의 핵심 장비 산업 중 하나인 이온 주입기 분야에 공식적으로 진출했습니다. 2019년에는 푸둥신구 정부가 발행한 '2018년 푸둥신구 경제에 탁월한 공헌을 한 기업' 칭호를 받고 '연간 자본 혁신'과 '연간 가치 기업' 2개 금상을 수상했으며, '상장 상장 기업'으로 선정됐다. 회사 "상. 회사는 가장 빠르게 성장하는 고급 제조 산업에 속합니다”.

1. 이온 주입기는 가장 널리 사용되는 고전압 소형 가속기 중 하나입니다. 2021년 제13회 중국국제항공우주박람회에서 CETC 이온 주입기는 반도체 소재, 대규모 집적회로 및 소자는 물론 금속 소재의 표면 개질 및 성막까지 선보일 예정이다. 이온 주입기는 이온 소스, 이온 도입 및 질량 분석기, 가속관, 스캐닝 시스템 및 프로세스 챔버로 구성됩니다. 이온 소스는 실제 필요에 따라 생략될 수 있습니다. 그 기능은 다음과 같습니다. 주입될 원소의 기체 입자를 이온화하고 주입될 이온 소스의 유형과 빔 강도를 결정합니다. 주파수 방전에 의해 생성된 전자는 외부 전자의 에너지가 이온화 전위보다 높을 때 충격 입자 역할을 합니다. 충돌 후 원자는 원래 전자 외에 양전자와 2차 전자가 나타나 질량 분석에 들어갑니다. 필요한 이온은 가속기에 의해 선택된 다음 4단계 렌즈에 의해 집중되어 높은 에너지를 얻습니다. 그런 다음 이온 주입을 위해 타겟 챔버에 들어가세요