전자 살균 탈취의 원리는 마이크로웨이브와 광파가 번갈아 살균하는 것이다.

전자레인지는 음식을 이용해 전자레인지장에서 마이크로웨이브 에너지를 흡수하고 스스로 열이 나는 조리기구이다. 전자레인지의 마이크로웨이브 발생기에서 나오는 마이크로웨이브는 전자레인지 체내에 마이크로웨이브 전기장을 만들고 전자레인지 체내에 최대한 고르게 분포되도록 조치를 취한다. 음식은 이 마이크로웨이브 전기장에 넣어 통제센터에서 조리 시간과 마이크로웨이브 전기장 강도를 조절하여 각종 요리 과정을 진행한다.