마이크로파 소결 장비는 마이크로파 소결 기술 개발에 중요한 역할을 한다. H.D.Kimmery 등은 1988년에 28Hz의 주파수를 갖는 마이크로파 연속 소결 시스템을 설계했으며, 그 전계 강도 분포 불균일도는 4 미만이었습니다. 또한 그들은 주파수가 28Hz인 마이크로파 연속 소결 시스템용 모델 교반기를 설계했습니다. 2.45GHz는 필드 분포를 향상시킵니다. 유전체 다중 모드 공진을 자극하기 위해 중국 과학원 심양 금속 연구소와 772 공장에서 설계한 집중 안테나 방식은 소결 영역에 마이크로파 에너지를 고르게 발사하는 방법을 채택하여 놀라운 결과를 얻었습니다. 최근 몇 년 동안 중국과학원 심양금속이 다수의 MFM-863 시리즈 마이크로파 소결 장비를 개발한 국가 신기술 "863 프로젝트"의 지원으로 주요 성능 지표는 전원 공급 장치, 380V, 50Hz입니다. , 0.5~10kW 연속 조정 가능, 작동 주파수 2.45GHz, 작동 온도: 1800°C 이상, 평균 시간 소비, 0.5~2h

기술적인 측면에서 H.D. Kimmery 등은 기존의 복사 또는 전도 가열과 마이크로파 직접 가열을 결합한 하이브리드 가열 방법을 제안했습니다. H.D.Kimmery는 ZrO2(몰분율 8의 Y2O3)를 소결할 때 SiC 막대를 하이브리드 가열용 열 센서로 사용하여 ZrO2 열 폭주를 제거했습니다.

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